芯耀
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之前我們寫過(guò)，晶圓電鍍?cè)诎雽?dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用，見(jiàn)文章：哪些制程會(huì)用到電鍍工序？電鍍是一個(gè)很重要的金屬化工藝，今天我們就以微型電鍍?cè)O(shè)備為例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)說(shuō)晶圓電鍍的原理。
如上圖，1.2L的微信電鍍槽與2000萬(wàn)一臺(tái)的量產(chǎn)型電鍍機(jī)的基本原理一致。共有6個(gè)核心部件，分別是陰極，陽(yáng)極，鼓泡器，電源，攪拌器，電鍍槽。
電鍍槽（Plating Bath）
? ? 容積約 1.2 L?的透明絕緣槽體，通常由聚丙烯（PP）或聚四氟乙烯（PTFE）等化學(xué)惰性材料制成。內(nèi)部盛裝的是電鍍液，用來(lái)提供可被還原的金屬離子來(lái)源。
陰極（Cathode）：即被電鍍的待鍍晶圓。
陽(yáng)極（Anode）：通常是同種金屬的可溶陽(yáng)極，比如銅電鍍時(shí)用銅陽(yáng)極；若采用惰性陽(yáng)極，則需外部提供金屬離子來(lái)源。
磁力攪拌器，鼓泡器
磁力攪拌功能，鼓泡，或循環(huán)功能，主要用于攪拌電鍍液，增強(qiáng)溶液中金屬離子的擴(kuò)散，消除濃差極化。
電源（DC Power Supply）
電鍍所用電源必須為直流電源。
圖中紅黑兩根粗導(dǎo)線從電源輸出到電鍍槽，紅色（正極）接陽(yáng)極，黑色（負(fù)極）接陰極襯底。
加熱系統(tǒng)
部分鍍種需要加熱，比如：鎳電鍍等。
有些鍍種不需加熱，比如：銅電鍍。
當(dāng)電路導(dǎo)通后，陽(yáng)極氧化溶解，金屬離子進(jìn)入電鍍液中，反應(yīng)方程式：
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? Cu-2e-->Cu(2+)
在陰極上，電鍍液中的金屬離子發(fā)生還原反應(yīng)，在晶圓表面接受電子，沉積為金屬原子。
Cu(2+)+2e-->Cu?如有需要1.2L全套微型電鍍槽，可聯(lián)系Tom
